二手 ASM MIR 3000 #9262042 待售

ASM MIR 3000
ID: 9262042
晶圓大小: 12"
優質的: 2013
CVD Furnace, 12" 2013 vintage.
ASM MIR 3000是為滿足商業、研究和工業應用而設計的高度先進的擴散爐及配件設備。它提供了一整套功能,可優化過程效率並實現一致的溫度均勻性。憑借其正在申請專利的加熱和冷卻技術,MIR 3000在焊接和其他需要精確溫度控制的擴散過程中提供了卓越的性能。ASM MIR 3000配有一系列附件,以補充爐子系統。這些包括脈沖閥清洗/凈化系統、爐襯、加熱後淬火系統、惰性氣體系統、惰性氣罐等等。所有附件都設計為提供最大程度的過程控制、一致的溫度穩定性和長期的組件安全性。為了提高過程效率,MIR 3000單元具有多種先進的機制和參數。其中包括有助於提供一致加熱和冷卻的無刷直流風扇電機、用於調節工藝溫度的AutoFlow PID控制器以及用於實時提供精確溫度反饋的門置熱電偶。此外,機器還配備了一個安全的過溫工具,用於監測過程並相應調整惰性氣體的流動,在需要時自動關閉資產。ASM MIR 3000的緊湊設計還有助於確保成本效益和節能。其密封室采用十一區絕緣模型,保證了均勻的溫度和高效的能耗。此外,該設備還采用高效氣動對流加熱系統,以降低能源成本,提高工藝效率。總體而言,MIR 3000擴散爐和附件提供了無與倫比的效率和精度.其先進的特性、機制和參數都協同工作,提供一致的溫度均勻性、可控的工藝流程和最大的成本效率。因此,這臺機器不僅符合而且超過了業界最嚴格的標準。
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