二手 ASM MIR 3000 #9311068 待售

ASM MIR 3000是由美國工程材料科學公司ASM International制造的擴散爐及相關配件。這種擴散爐用於生產先進的半導體元件，包括柵極和源/排水區、接觸層、矽化物層和摻雜物再分布。MIR 3000在小型且經濟實惠的包裝中提供了卓越的可重復性。ASM MIR 3000采用獨特的熔爐結構,可實現較小的占地面積,具有卓越的能效和優化的吞吐量。爐子設有兩個低熱質量負荷鎖室，在整個過程中提供改進的溫度均勻性和可重復性。MIR 3000的設計還允許更快的穩定時間和更快的循環以提高工作效率。ASM MIR 3000是為所有矽和III-V應用而設計的擴散爐。它具有高度可控的大氣層，工作溫度可達1150°C，並有多達6個大氣輸送源可用於精確的環境控制。該爐具有改進的控制滲透運動制導系統和更大的橫截面面積以提高吞吐量。此外,MIR 3000還提供各種可選的呼吸口,以防止安全風險。與ASM MIR 3000擴散爐一起，ASM提供全系列的配件來滿足您的所有生產需求。這些包括專門的熱管理組件，如冷卻臂、快門組件和絕緣系統，以及過程監控和支持軟件和硬件。這些項目有助於最大限度地提高您的效率,最大限度地減少停機時間,並密切控制流程參數。MIR 3000的多功能性、卓越的工藝控制和合理的尺寸使其成為測試實驗室和大批量生產設施的絕佳選擇。通過利用其先進的流程功能,公司能夠提高產量、吞吐量、可重復性和速度。無論您是在尋找小型還是大型工藝的擴散爐，ASM MIR 3000都是滿足您所有半導體需求的絕佳選擇。