二手 ASM MIR 3000 #9351346 待售

ASM MIR 3000是一種擴散爐及附件設備，旨在提供耐用和先進的熔爐溶液，可以滿足多個行業的熱工藝需求。MIR 3000系統適用於光電器件制造、CMP標桿、先進器件封裝、薄膜沈積、外延生長等多種應用。擴散爐和相關配件配有全自動過程控制器，可確保每個制造過程保持正常。該工藝控制器能夠控制多達四個具有多達八個變量的獨立工藝，使其成為多種工業應用的通用工具。該機組采用高容量、可靠的電機供電，並配有過溫防護、過壓閥、動力故障安全等多種安全特性。此外，爐子及隨附的配件工具滿足了最具挑戰性的行業安全審批，如UL、CSA、NFPA 79。ASM MIR 3000資產具有先進的熱過程控制選項、先進的控制軟件包和平板設計,可加速熱能在整個腔室的擴散。此外，該模型還擁有先進的熱層剖面分析設備，可保證整個腔室內熱量的均勻分布。該腔室采用易於使用的連續皮帶設計，用於高通量操作。可選的數字皮帶驅動系統可用於精確控制皮帶速度，確保溫度保持一致。此外，該機組還配備了先進的腔室冷卻技術，消除了較長的冷卻時間。總體而言，MIR 3000擴散爐和附件機是一種強大而可靠的工具，可用於多種熱工藝應用。憑借其高度先進的工藝控制器、增強的安全功能以及先進的熱處理工具,該資產為用戶提供了可靠可靠的熱處理解決方案。