二手 ASM MIR 3000 #9358637 待售

ASM MIR 3000是ASM International為半導體制造工藝設計的擴散爐及相關配件。該系統由單室爐和控制器、氣體混合器、閥門、氣體配件、歧管和管道、熱電偶和溫度計/控制器組成。MIR 3000的主室是由不銹鋼製成的垂直圓柱體，並裝有石墨敏感器。磁感器設計用於在加工過程中保持晶片,並將熱量均勻地分布在整個表面上。爐膛內部還襯有石墨層，以保證隔熱。加熱元件位於感應器下方，通過PLC（可編程邏輯控制器）控制腔室溫度。加熱元件在爐膛內產生均勻的溫度。氣體混合物通過氣體混合器、閥門、氣體配件、歧管和管道輸送到腔室。氣流由質量流控制器調節，從而可以精確控制氣體成分。氣體混合物通過幾個氣體入口引入腔室，這些氣體入口與歧管和管道相連。使用熱電偶和溫度計/控制器監測和控制溫度。熱電偶被插入腔室，並檢測整個腔室的溫度水平。溫度計/控制器用於設置和調整腔室的溫度範圍。ASM MIR 3000適用於廣泛的擴散過程，包括熱氧化、氮化、氧化物沈積和導體摻雜。該系統提供精確的溫度控制，整個腔室的溫度分布均勻，以及適合理想擴散條件的精確氣體混合。該系統易於編程，極其安全可靠，可用於廣泛的應用。