二手 ASM MIR 3000 #9358639 待售

ASM MIR 3000擴散爐是半導體工業的通用工具，允許制造包括復雜三維結構在內的高質量半導體器件。該爐能夠鈍化、植入和擴散過程，並為低溫退火和熱氧化提供理想的平臺。MIR 3000設計用於多個位置和多個基板,非常適合大規模生產和研發中的應用。爐芯由電阻元件組成，電阻元件由兩個電源組合加熱，可精確控制高達1350 °C的溫度。采用石墨制造內鎘，保證爐內熱分布均勻，采用密實、氣密的絕緣材料實現爐內抗氧化。提升機構和膨脹機構提供了卓越的可靠性和長期耐久性。ASM MIR 3000具有一套獨特的配件，使擴散過程更容易、更快、更可靠。擴散批和單摻雜註射器可以精確控制沈積過程，而以精度0.1°C為特征的冷卻和加熱速率控制器則用於調節擴散過程的溫度。獨一無二的可編程機器驅動程序確保了用戶定義的參數的一致應用，促進了擴散過程的完整可追蹤性。MIR 3000還包括多區域調制（MZM）單元,通過完全控制溫度剖面,提高了精度和安全性。先進的MZM還能夠以每小時900個晶圓的最高速率並行處理數千個晶圓，非常適合高速生產應用。擴散爐還配備了廣泛的軟件和支持服務，使用戶能夠輕松地監控、調整和檢查工藝參數。操作軟件允許用戶以直觀的圖形方式調整和監控爐子的參數，而支持系統則讓用戶獲得有關操作和安全的技術建議。此外,還有一系列自我診斷工具,能夠在潛在問題變得嚴重之前對其進行檢測和警報。總體而言，ASM MIR 3000擴散爐及其一系列配件為制造商提供了生產復雜半導體器件的高效、可靠和靈活的工具。對溫度和用戶定義參數的精確控制使MIR 3000能夠以完美的精確度和可重復性每小時處理數百萬個晶圓,從而非常適合高速生產和復雜的研發應用。