二手 ASM SP 32 #293758590 待售

ASM SP 32是專為低壓環境下基板熱處理而設計的擴散爐。它采用隔熱和水冷鎢爐，在整個加工室內產生極均勻的溫度分布。這是通過一系列空氣噴嘴通過爐膛的空氣的均勻分布來實現的。該爐能夠將工作壓力降低到幾毫巴甚至微巴，這使得它非常適合退火、金屬化或擴散等過程。加熱的基板被放置在惰性氣氛的加工室內，為所需的過程創造了最佳的熱環境。溫度範圍為300 °C至1450 °C，自由浮動熱電偶是控制溫度的主要手段。易於使用的控制面板允許調整各種設置和參數。這包括溫度範圍，壓力範圍，以及在室內的停留時間和氣體組成。該室還設有一個安全聯鎖設備，可防止在使用該室時不及時地疏散該室氣體。除了主爐外，SP 32還供應各種配件。這包括一個熱氣體循環系統和一個雙氣囊單元，這進一步有助於優化整個加工室的溫度均勻性。此外，機器還可以配備樣品聚焦器和軸密封工具，以便對垂直樣品進行處理。該爐還可提供方便的可編程邏輯控制器（PLC）和自動樣品加載系統，進一步簡化和簡化多個樣品的處理。ASM SP 32經CE認證並列入UL，驗證其在實驗室使用的質量和安全性。它還得到了一個全面的全球服務網絡的支持,該網絡可以在遇到任何流程問題時進行補救。總體而言，SP 32是一種堅固可靠的擴散爐，可適應各種過程，具有精確的溫度控制和低壓環境。它的一整套配件得到了世界各地實驗室的認可，因為它們用於減少執行任務所需的時間，同時提高準確性和質量。