二手 ASM SP 32 #9248373 待售
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ID: 9248373
晶圓大小: 6"
Horizontal furnace, 6"
4-Stack
Nitride: Tube
Alloy: (3) Tubes
MRL Black MAX furnace tubes
Temperature: 1200° Max
AMAT / APPLIED MATERIALS T-1000 Variable speed pump for nitride tube
Main body loader: Paddles & TC included
Includes:
Furnace
Gas box and controller unit
SS Gas detection box
Chiller unit for furnace
Electronics and controllers
Vacuum and miscellaneous
Furnace chiller shroud
~1996 vintage.
ASM SP 32是設計用於研發實驗室的高溫擴散爐。該爐將快速加熱和冷卻循環與精確的溫度控制結合在一起,在多種條件下產生高度精確的熱處理。該單元的多功能設計允許其配置各種配件,以適應廣泛的材料處理應用。標準配置包括一個集成的爐膛,一個大的加熱表面,以及手動和可編程的樣品加熱和冷卻。爐房采用堅固的全鋼結構,內部容積32升,外殼緊湊,可提供最佳隔熱效果。這個腔室的有效工作溫度範圍從室溫到1500 °C,可以在大氣層、真空或兩者的組合中操作。不銹鋼網臺提供可同時容納多個樣品的大加熱表面。用精確控制的溫度對表面進行獨立加熱和冷卻。該裝置配有模塊化的爐控制設備,由兩個數字熱電偶輸入、一個手動設置旋鈕和一個易於使用的編程接口組成。這些組件允許精確的溫度變化和控制過程的準確反饋。而且,系統的響應時間可以根據所處理的材料進行調整。該爐還配有多種配件,以提高通用性,包括泵和排氣套件、石英托盤、絕緣鎖和輔助部件。此軟件包將必要的組件捆綁在一起,以創建一個多合一材料處理單元。SP 32擴散爐是空間狹窄和/或預算有限的研究實驗室的理想選擇。它為各種材料的熱處理提供了一個全面的解決方案,具有高質量的結構、快速的坡道速率、先進的控制機器以及一系列的配件。
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