二手 ASM UHV-A600 #9144030 待售

ASM UHV-A600擴散爐設計用於高功率、超高真空惰性氣體應用。該爐是開發先進材料的高性能、多功能、可靠的工具，具有優良的蝕刻能力和精密的表面制備。這款擴散爐采用高速皮帶驅動的熱區加熱器設計，可提供高達1400 °C的溫度。熱區由石英室封閉，石英室有M63個螺釘，便於進入有保護的後裝載環境。這種載荷後環境有助於確保整個腔室的溫度分布一致且均勻，並允許爐子實現極好的擴散剖面均勻性。石英室也用於防止外界空氣汙染。該爐配有功率較大的8.5 kW射頻發電機和熱區振蕩器，以保證整個爐體的均勻加熱。直觀的觸摸屏界面引導操作員完成爐子的設置和控制。控制設備還包括實時數據記錄系統和將數據導出到計算機進行分析的能力。UHV-A600擴散爐還具有先進的惰性氣體控制系統。該爐可配置為在許多工藝應用中使用氙氣、氮氣或其他反應性氣體。這包括調節加熱氣體的流量、壓力和流量控制，以確保目標材料的均勻擴散。用戶還可以在幾分鐘內將爐溫曲線調整至所需參數。ASM UHV-A600擴散爐還配有一系列配件，以最大限度地提高其效率和靈活性。其中包括：氣體分配歧管、循環泵、5口閥和過濾器、氣壓計和通風口。氣體歧管確保向爐子提供均勻的氣體，並由強大的電動機提供動力，以支持高功率的應用。循環泵在爐內循環氣體，在熱區提供均勻的溫度分布。最後，通風機有助於從熱區排出氣體，並有助於保持爐內的高清潔度。這種頂級擴散爐為用戶提供了更高水平的性能和可靠性，是廣泛應用的理想解決方案。UHV-A600擴散爐具有先進的加熱能力和惰性氣體控制系統，是滿足先進制造工藝需求的理想解決方案。