二手 ASM UHV-A600 #9144820 待售

ASM UHV-A600
ID: 9144820
晶圓大小: 8"
Thermal HSG system, 8".
ASM UHV-A600是一種擴散爐及其附件,用於實驗室晶體生長.這種先進的設備設計用於可靠、安全和可重復的外延沈積過程,同時捕獲準確和可重復的數據。UHV-A600是一個專用的薄膜沈積系統。它利用Varian的Turbo分子泵機實現了業界最高的泵送速度和最低的電力負荷,同時保持了一貫的高真空。這有助於優化原材料沈積速率並確保最高質量的薄膜。ASM UHV-A600與所有常用的生長底物和分子束外延源兼容,並配有用於監測底物溫度的2D映射陣列,從而能夠精確控制薄膜沈積。這臺機器專為高吞吐量而設計。憑借其先進的設計以及快速響應元件,UHV-A600可以更快地生產用於廣角X射線衍射分析的薄膜樣品。該工具配有氣線接口和多個端口,以確保敏感沈積過程中穩定、純凈的無氧化環境。ASM UHV-A600還包括一個全自動預處理室。該腔室設計用於在薄膜沈積之前清除表面汙染物。此外,該室還配備了惰性氣體凈化資產和渦輪分子泵送(TMP),以進一步優化環境。除了UHV-A600外,瓦裏安還提供多個加熱元件和樣品室,以適應每個沈積過程。這些元件包括紅外(IR)燈、電阻加熱元件和石英增強燈。每個都為表征膜沈積提供均勻的加熱。此外,先進的超高壓系統包括一個多區域擴散加熱器,它允許一個更復雜的增長環境。ASM UHV-A600還包括一個溫度控制的底物卡盤,可用於微調沈積過程中的底物位置。此外,卡盤還配備了一個可選的樣品冷卻級,可以精確控制薄膜厚度。UHV-A600還包括高級儀器。這包括ABelec 500電壓電源,它提供穩定、可重復的性能,具有低噪聲譜.這確保了沈積過程的準確描述,並實現了準確的數據捕獲。為完成該模型,ASM UHV-A600還包括真空管理設備。該系統設計用於執行精確的自動閥門排序、生成快速循環時間和減少處理錯誤。真空管理單元還包括一個遙控站,用於監測機器的行為。總之,UHV-A600是實驗室晶體生長先進、用途廣泛的擴散爐.它設計用於可靠、安全和可重現的外延沈積過程,同時捕獲準確和可重復的數據。ASM UHV-A600具有可靠的刀具設計和先進的儀器設計,是薄膜沈積工藝的理想工具。
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