二手 ASYST / PST DO-FF-HTO 15100-300 #9170685 待售

ASYST/PST DO-FF-HTO 15100-300是高溫薄膜和多晶矽沈積應用的先進擴散爐。它具有令人印象深刻的一系列特點，包括模塊化設計、高吞吐量、精確的溫度控制以及嚴謹的安全設備。15100-300的模塊化設計允許輕松定制和靈活性。它可以使用內置端口接入點快速訪問和維護,而且種類繁多的可互換部件使用戶能夠根據自己的需要對其進行定制。大的腔室面積和寬廣的溫度範圍也允許一個令人印象深刻的應用範圍。15100-300的設計提供高吞吐量、精確度和精確度。精確的溫度調節系統利用先進的熱敏傳感器來監測溫度，確保各批次的沈積一致性。該爐還配有大功率加熱器，以提供快速退火時間，以最短的工藝時間保證高產。15100-300還具有一個堅固的安全裝置，如果感覺異常，它會自動關閉爐子元件的電源。它結合了其他安全特性，如對腔室和排氣口的三層保護，以及在壓力平衡異常情況下會觸發的限壓開關。總體而言，PST DO-FF-HTO 15100-300是一種可靠且用途廣泛的擴散爐，適合廣泛的應用。以其模塊化的設計、高通量、精確的溫度控制、嚴密的安全機器，是高溫薄膜和多晶矽沈積應用的理想選擇。