二手 ASYST / PST Melitas F303VD #9375207 待售

ASYST/PST Melitas F303VD是一種擴散爐和附件封裝,旨在促進半導體器件制造基板部件的快速加熱和轉換過程。它提供了高級控制功能,允許精確監控、調整和可重復操作,使其成為現代設備制造的理想解決方案。該爐由一個石英室組成，分為兩段，允許合金在當今半導體制造所需的溫度下擴散或退火。它具有加熱石英頂板均勻加熱、表面光滑的特點，以及用於優化溫度輪廓控制的大側室。該爐包括一個真空系統通過與集成渦輪泵.該系統可達到高達1000 °C的溫度，並維持長達30分鐘的處理時間。PST Melitas F303VD配有一套旨在提高工藝效率的配件,例如用於控制背景壓力的氣壓室,以及用於測量和控制基板溫度和壓力的過渡件、熱保險絲和PCM7工藝控制器。Process Controller支持多個流程配方,允許操作員存儲多達100個帶有設置點的參數,從而在必要時實現快速精確的流程調整。它具有兩行字母數字LCD和彈性體鍵盤,易於編程,並具有插槽硬件,可快速更換。ASYST Melitas F303VD旨在提高半導體器件制造過程的效率和可用性。它配備了高級控制功能,以簡化操作並實現快速處理,使其成為現代制造過程的理想解決方案。