二手 ASYST / PST Melitas F30VD #9246528 待售

ASYST/PST Melitas F30VD是一種用於矽片高性能摻雜的擴散爐及配件。它設計用於需要低溫/高精度擴散過程的應用，如生產發光二極管（LED）、吸光二極管（LAD）、太陽能電池和其他高性能電子產品。無化石自動加載系統允許經常摻雜直徑達14英寸的矽片，非均勻性小於2%。使用垂直熱壁和自然對流的可重復加熱過程可確保晶圓直徑的溫度均勻性。這種擴散爐能夠在很大範圍內穩定地控制溫度，在垂直爐中獨立控制高達1250°C的工藝溫度。它還具有真空爐循環能力和高壓氣體控制功能，可用於矽片的均勻和局部高摻雜。氣流配置可以根據應用為各種摻雜技術設計。PST Melitas F30VD擴散爐的優點包括循環時間縮短了40%，選擇性和橫向均勻性提高，摻雜水平精確，摻雜分布放大。此外，計算機控制的氣體輸送和獲得專利的熱墻控制將表面汙染物對擴散過程的影響降至最低。集成的機械手和可拆卸的晶片盒式磁帶確保了矽晶片的安全和方便的傳輸，並減少了處理和汙染。ASYST Melitas F30VD擴散爐由於其靈活的設計和與過程和控制系統的接口能力，提供了可靠、一致的結果。隨著增強型功能集，如自動摻雜物發送系統、集成過程流調試、可調晶體輪廓調諧，這種擴散爐非常適合高性能電子產品的大批量生產。