二手 ASYST / PST Melitas F30VH #293668221 待售

ASYST/PST Melitas F30VH是一種先進的擴散爐和附件,旨在實現精密晶圓、模具和基板加工。該F30VH采用先進的熱電偶和溫度控制系統，以及一系列安全功能，旨在確保操作員的最佳安全。PST Melitas F30VH是各種基材擴散過程的理想解決方案，包括矽片、薄膜和電介質。頂端爐的最高溫度等級為1300 °C,可滿足廣泛的擴散處理需求。註重效率的設計還包括4區加熱，以及循環冷卻，以確保整個過程的精確溫度控制。為了便於使用和維護,ASYST Melitas F30VH配備了直觀的控制系統和遠程監控/輔助功能,可方便地從任何遠程設備訪問熔爐的重要操作信息。該爐還包括一個專利惰性氣體輸送功能與溫度循環配對，允許優化，工藝為基礎的啟動和關閉程序。Melitas F30VH包括一個具有全面安全功能的溫度控制器，在擴散過程中保護人員和過程。集成熱管理系統采用整體反饋回路精細控制溫度，具有實時監控，確保安全、準確運行。該裝置還包括一個自動清潔循環，編程為自動清潔爐子的內室，為隨後的晶圓和基板工藝做準備。清潔周期還降低了汙染風險，並確保了可重復和可靠的性能。最後,密封結構有助於保護設備,並確保在各種環境中安全可靠地運行。該設備還具有高能效，具有多模式電源設置，以降低能耗和相關成本。ASYST/PST Melitas F30VH是各種應用的理想擴散爐,因為其尖端的安全系統、精確的溫度控制和全面的過程監控為任何晶圓、模具或基材過程提供了可靠而高效的解決方案。