二手 AXCELIS XT300 #9390658 待售

AXCELIS XT300擴散爐是一種可靠、先進的設備.這一模型是專門為擴散和相關過程如氧化和外延生長而設計的。采用立式結構設計和惰性氣體凈化設備，XT300保證均勻的材料加熱，優化生產。此型號附有一個標準的2 「x2」石英磁化器用於腔室，以及幾個可選的石英磁化器，包括4 「x4」、4 「x6」和6 「x8」。其溫度均勻性達到+/-2°C，是半導體加工成功的優越穩定性水平。此外，由於其同軸冷卻系統和PID控制器，溫度的達到是相關的和可控的。此外，AXCELIS XT300包括真空預熱器等多種配件，改善材料流動的陶瓷擋板，以及允許裝卸多功能性的光電單元。所有這些功能都提供了更高的吞吐量,同時可以容納各種晶圓尺寸。擴散爐配備了強大的可編程時鐘面板，允許用戶為任何給出的多步過程定制時間和溫度輪廓控制。另外還有一個可清潔的棱鏡卡帶和一個中央制表機.這個工業擴散爐還擁有快速加熱工具，能夠在12分鐘內達到1200°C的溫度。而且，自動給藥資產結合獨特的超低氮氣凈化，節省能源，保持精確的溫度控制。總體而言,XT300擴散爐是一個可靠可靠的模型.其特點使得它非常適合困難的高溫擴散過程。AXCELIS XT300具有直觀的CO控制器、均勻的溫度設置、低能耗和多種石英敏感性,使得擴散方面的任何任務都顯得毫不費力。