二手 BENEQ P400A-034 #293830577 待售
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ID: 293830577
Atomic Layer Deposition (ALD) system
Chamber
Gas/precursor manifold
Control enclosure
Norcimbus mini monitor
Plus gas-panel monitor
JULABO / FP 51
Refrigerated circulator
EDWARDS / iH600
Vacuum pump
Vacuum vessel
MKS mass-flow control
Intellisys IQ throttling valve
Laptop/process interface
Power supply: Rated 3×208 VAC + N + PE, 60 Hz.
BENEQ P400A-034是一種最先進的擴散爐設備，設計用於在半導體材料中精確、均勻地擴散摻雜劑。這一先進的熔爐系統配備了一系列附件和特點，便於高效和可靠的擴散過程，使其成為半導體工業研究和生產的重要工具。P400A-034擴散爐主室由優質材料構成，保證了整個過程的均勻溫度分布和熱穩定性。這個腔室可以容納各種各樣的樣本量和形狀，使其用途廣泛，適合各種應用。腔內的加熱元件設計為提供精確的溫度控制，使用戶能夠以高精度達到所需的擴散剖面。BENEQ P400A-034擴散爐的主要特點之一是其先進的氣體輸送裝置。這臺機器能夠精確控制氣體流量和組成，確保不同摻雜劑和材料的最佳擴散條件。氣體輸送工具包括質量流量控制器、壓力調節器和氣體混合功能，允許用戶根據自己的特定要求量身定制氣體大氣。為了進一步加強擴散過程，P400A-034擴散爐配備了先進的溫度分析資產。此模型允許用戶實時監視和控制腔室內的溫度梯度,從而確保在整個樣品中均勻的擴散輪廓。溫度分析設備還可以與外部軟件進行數據記錄和分析，為擴散過程提供有價值的見解。除了先進的功能外，BENEQ P400A-034擴散爐還配備了一系列附件，進一步增強了其功能。這些附件包括用於樣品處理的石英和碳化矽船，以及便於裝卸樣品的晶圓托架和托盤。該爐還配備了安全聯鎖系統，確保用戶在運行和維護過程中受到保護。P400A-034擴散爐由用戶友好的界面控制，該界面便於擴散過程的操作和編程。界面具有觸摸屏顯示屏和直觀的控件，使用戶設置和監控擴散運行變得簡單。該爐還有多種預先編程的擴散配方，可以方便地訪問和修改，以適應特定的要求。總體而言，BENEQ P400A-034擴散爐是一種前沿工具，為半導體行業的擴散過程提供無與倫比的性能和可靠性。憑借其先進的特點、精確的控制和多功能性，這種爐單元是研究實驗室、大學和半導體制造商尋求獲得優越摻雜擴散效果的必不可少的資產。
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