二手 BLACKSTONE / NEY MACS-25-US-HIT #9227403 待售

BLACKSTONE/NEY MACS-25-US-HIT是一種具有集成加熱元件的擴散爐，提供精確且均勻的熱分布。它由加熱室、爐控制單元和附件組成。加熱室設計可容納多達25個標準尺寸的載流子。這些載體可以配置為濺射、PECVD、離子註入、快速熱退火和氧化過程。爐子控制單元允許對所有加熱元件進行精確控制。它具有四個組件溫度控制器,可提供± 1°C的綜合精度。控制單元還包含一個自適應預測控制器函數，該函數調整溫度曲線，以實現更好的過程均勻性。此外,用戶界面允許方便的參數設置和監視,並且最多可以記錄20個單獨的配方。NEY MACS-25-US-HIT的附件包括高速渦輪分子泵，用於創造高真空環境。這種變速泵能達到高達10-6 torr的真空。此外，該系統還包括一個冷庫，用於捕獲和儲存揮發物，以防止對加熱環境的汙染。為了便於安裝，BLACKSTONE MACS-25-US-HIT交付了包括工藝控制器、高速渦輪分子泵、冷陷阱、載波支撐、氣線、電源連接在內的所有必要組件。它還配備了機械起重機構，用於簡化載具的插入和拆卸。MACS-25-US-HIT擴散爐是一種可靠和通用的解決方案，非常適合半導體工業的各種應用。其精確的溫度控制和均勻的加熱能力使其適用於濺射、PECVD、離子註入、快速熱退火、氧化等復雜過程。它還以高速渦輪分子泵和冷捕器為特色，營造出高真空、無汙染的環境，而其直觀的用戶界面和便捷的配件則促進了高效、方便的操作。