二手 BLACKSTONE / NEY MACS-25-US-HIT #9399118 待售

BLACKSTONE/NEY MACS-25-US-HIT是一種先進的高通量擴散爐及其半導體制造應用配件。該爐與單晶片大氣壓化學氣相沈積（APCVD）化學輸送設備和先進的材料監測系統集成在一起，可提供一致、可靠和可重復的工藝結果。NEY MACS-25-US-HIT是一種高溫擴散爐，能夠實現全溫均勻性和嚴密的溫度過程控制。它配備了一個100晶片的批次加載單元和25°C至1250°C的溫度範圍。動態過程控制確保氮氧輸送在整個過程中得到優化。利用這臺機器，擴散程序可以以連續可重復的方式運行，冷卻時間最短，從而減少了整個周期的時間。該爐還與APCVD輸送工具集成在一起。這一資產允許對化學反應性進行可變的過程控制，以及簡化整個晶圓表面的化學輸送。采用高精度噴頭的化學輸送模型，提供了沈積過程的均勻性和穩定性。此外，壓力和速度調節系統有助於確保擴散過程的穩定性。在工藝監控方面，BLACKSTONE MACS-25-US-HIT配備了溫度、壓力、應力、射頻監控、質量流量控制器等多種工藝監控器。這些過程監視器提供操作數據,用於在每個周期或多個周期之間調整溫度和壓力設置。因此,提高了過程的穩定性和可重復性。最後，MACS-25-US-HIT還配備了一套全面的安全功能。壓力致動百葉窗設計用於在維護和開放回填期間隔離爐子，而電流敏感的繼電器可降低電擊的風險。此外，高溫報警器、消防安全設備和低壓開關都被納入保護用戶和環境的手段。因此，BLACKSTONE/NEY MACS-25-US-HIT為需要擴散處理的半導體制造應用提供了可靠、高效、安全的工藝控制解決方案。高溫均勻性和嚴密溫度控制相結合，加上先進的監控系統和安全特性，使其成為以成本效益高的方式實現準確、可重復的過程結果的理想選擇。