二手 BRUCE BDF-4 #9013994 待售

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BRUCE BDF-4
已售出
製造商
BRUCE
模型
BDF-4
ID: 9013994
晶圓大小: 5"
Furnace bank, 5" Tube1-Pyro Tube2-Pyro Tube3-Pyro Tube4-LTO Currently de-installed and stored in a dry area.
BRUCE BDF-4是一種高端擴散爐,加上其兼容的配件,為從事基板表面擴散的用戶提供了一套獨特的功能,包括退火和固態擴散。BDF-4設計用於最多支持六個加工區,每個區的最高溫度為2,000 °C。擴散爐的三面室由不銹鋼構成,具有優異的耐久性和耐熱性。為有效控制溫度設計了五過程管道歧管,為用戶提供了每個區域的最佳溫度均勻性。高壓淬火閥設計用於快速冷卻後擴散。為了確保可靠、可重復的結果,BRUCE BDF-4集成了高級控制系統和精密組件。內部電子封裝包括PID溫度控制器,數字控制器允許調整所有參數。該爐還具有高精度的吸熱、放熱和原位腔室,供用戶監測腔室的大氣壓和氧氣水平。在定制方面,BDF-4有許多獨特的選項來滿足各種研究需求。每個會議廳的設計目的是接受來自全球獨立認證供應商的各種擴散消耗品。為了在處理過程中監視溫度,用戶可以從K型熱電偶傳感器以及溫度記錄器中進行選擇,以便隨時間推移跟蹤溫度概況。安全是任何實驗室環境中的重中之重,BRUCE BDF-4為腔室和處理器提供了先進的安全保護。擴散爐為腔室配備了反向閥和低壓關閉保護,以及過熱和過流保護。此外,潔凈室規格的顆粒物和氣溶膠過濾器保持環境清潔和安全。BDF-4擴散爐及其輔助配件的用戶將受益於先進的平臺,以確保在基板表面擴散過程中可重復的結果。先進的控制系統、溫度均勻性和專屬選項的結合使得BRUCE BDF-4任何研究實驗室的理想選擇。
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