二手 BRUCE / BTU BDF-4 #9245270 待售
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單擊可縮放
ID: 9245270
晶圓大小: 6"
優質的: 1984
Oxidation / Diffusion furnaces, 6"
4-Stacks
Right to left
In-line style source cabinet
Spare parts included
Stainless steel exhaust scavenger
Stainless steel gas manifolds
With regulators
Filters
Manual valves
Gases:
N2 30 SLM UFC 2000
H2 40 SLM UFC 2000
O2 20 SLM UFC 2000
HCL 2 SLM UFC 2000
Ar 30 SLM UFC 1000
O2 5 SLM UFC 1000
Connected load: ~ 96 kVA at 480 VAC
Supply voltage: 440/480 VAC, 60 Hz, 3 Phase
1984 vintage.
BRUCES/BTU BDF-4是一種先進的自動化擴散爐,設計用於從研發到生產的各種操作。擴散爐用於創建具有特定於每個特定應用程序的精加工厚度的固體表面。BTU BDF-4的特殊設計和配置特別適合於需要大量受控步驟的擴散、加熱、冷卻和其他過程的生產序列。BRUCE BDF-4有一個真空密封室,旨在均勻分布高達2000 °C的溫度。這種分布使得每次都能獲得最佳的過程結果。此外,該爐還包括用於測量多個過程變量(包括流量、溫度和壓力)的集成儀器,並為可重復結果提供自動控制功能。BDF-4設計用於加工各種基材,包括鋁、不銹鋼和鎢等。特別是,擴散爐被設計為通過使用真空或氧氣氣氛來減少雜質。此外,該爐還設計用於高效加工陶瓷和半導體基板,使其適合各種應用。BRUCE/BTU BDF-4還包括一些定制的配件,以滿足客戶的生產要求。該爐具有磁性夾具,便於將基板固定到位,提高了生產過程的均勻性和可靠性。此外,該爐還具有防裂通路門和安全觀察雙成像石英窗等安全特性。最後,BTU BDF-4由具有21 CFR第11部分合規性的帶GUI軟件的PLC/PC系統提供支持。此軟件旨在簡化標準流程和自動化更復雜的生產序列。這有助於提高生產效率和可重復性。此外,PLC/PC系統具有多種語言選項,可方便多個國家的用戶。總體而言,BRUCE BDF-4是一種先進的自動擴散爐,提供過程的均勻性和對一系列基板的控制。其集成的儀表、可定制的附件和PLC/PC系統確保了對擴散過程的全面控制,並有助於提高生產效率。
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