二手 CANON / ANELVA COSMOS 300 I-1201 #9210942 待售

CANON/ANELVA COSMOS 300 I-1201擴散爐是一種高精度沈積系統，設計用於制造具有原子級精度的大面積裝置結構。該系統裝有12英寸晶圓容量爐，能夠進行超高真空操作，用於廣泛材料的熱處理，包括藍寶石、矽、氧化/摻雜和光學塗層。它采用熱壁設計，將氣體引入基板表面或徑向供給，提供均勻的溫度和氣流，以精確控制沈積過程。它還包括一個300毫米晶圓加工區，該區保護操作員，並允許采用各種自動化工藝，使系統更加靈活。它利用直流和射頻電源進行雙極和單片過程，有助於充分控制過程。CANON COSMOS 300 I-1201擴散爐適用於多晶矽、矽化鎢、矽化鈦、矽化鋁、矽外延等高溫沈積過程，變溫範圍高達1250 °C，真空範圍為5 x 10-8 torr。此外，它還支持最多四種氣體用於沈積和蝕刻過程以及可選的液體註入。其氧氣濃度範圍優化，通過幹式或濕式氧化過程支持氧化物的沈積，其氫氣/氮氣和氙氣/氫氣比可以很容易地修改，以準確控制蝕刻速率。ANELVA COSMOS 300 I-1201擴散爐配有各種有用的配件，如Epi環晶片卡盤和樣品探頭、用於控制氣流的多氣體出口、用於控制晶體生長的高壓電源以及用於直接供氣的高壓氣瓶支架。它的速變石英和氧化鋁敏感器可以容納直徑達300毫米的晶片，使得它們可以方便地交換各種工藝要求。此外，它的PIP（壓力間接可編程）技術和高達4氣體控制器，使出色的腔室壓力控制和配方記憶可重復準確的過程。因此，這種擴散爐提供了可靠和高質量的沈積工藝。