二手 CENTROTHERM 5 #184929 待售

CENTROTHERM 5是一種擴散爐和附件封裝，用於處理半導體和電子工業的工業應用。該設備設有直列式氣體面板、輸送機器人、惰性氣體面板和高壓擴散裝置。內聯氣體面板可控制多達八種不同氣體的流動。這種氣體面板的設計是為了保持一個大的動態範圍一致的氣體壓力。此外,該面板將允許流量保證,而沒有背壓的風險.機器人提供了一個輸送系統，可以通過使用惰性氣體沈積多達四種材料。該機器人的設計可提供最大精度和精度控制。機器人還配備了車載視覺單元，以確保高精度沈積。惰性氣體面板設計用於確保高壓擴散系統的非反應性大氣。該面板能夠通過控制氣體混合物中常見元素的比例，為爐子的運行提供可靠的氣體屏障。對於高壓擴散，5配備了真空管，允許受控過程壓力高達1500毫巴。該機還有一套用於隔離和水庫管理的開放區域。還提供了多種可選配件,以提高工具的靈活性。為確保過程控制和安全,CENTROTHERM 5與監測系統集成在一起。監控系統包括溫度控制器和熱特征管理資產，允許用戶監控整個擴散過程。該型號還具有提供整個設備實時數據的ST-Watch接口。5是半導體和電子工業中高度可靠的加工應用的理想擴散爐及附件包裝。該系統具有廣泛的功能，使其能夠處理高精度和一致的結果。憑借對工藝參數的管理和控制能力，CENTROTHERM 5可以為用戶提供其工業應用的可靠結果。