二手 CENTROTHERM Centronic E1200 HT 260-1 #9163724 待售

CENTROTHERM Centronic E1200 HT 260-1是一種世界級的擴散爐和配件,專門設計用於半導體應用的自動化和優化生產過程。E1200 HT 260-1提供了一個強大的多區氣體通量熱處理室，具有精確的溫度和過程控制，與傳統的擴散爐相比，允許基板的流動性和區域的靈活性，同時減少氮消耗。通過內置的溫度和復合濃度監測和控制，這種設備大大提高了任何尺寸的晶片基板的均勻性和效率。E1200 HT 260-1的先進擴散爐設計為各種基材尺寸提供了多種工藝功能和靈活性。保護玻璃面板包含一個大的、易於使用的觸摸屏控制系統，帶有基於圖形的軟件，使用戶能夠對各種功能進行編程，包括單獨的區域選擇、溫度控制和沈積速率設置。氣體面板配有流量調節器，在擴散過程中精確調節氮氣或氙氣的速率。E1200 HT 260-1具有堅固耐用的不銹鋼腔室設計和改進的絕緣單元,可實現最高溫度均勻性和效率。獨特的氣體熱分布技術（GFT）在整個基板上提供高均勻性，具有出色的溫度穩定性。此外，該腔室還結合了先進的矽基板蝕刻能力。室內傳感器控制的熱電偶用於監測和控制每個區域的溫度狀態。E1200 HT 260-1是一款人性化的機器，能夠直接從主控制站方便地存儲、召回和修改配方。該工具能夠與PC和CAM系統聯網,以便在處理過程中自動選擇配方並監控晶片。此外,可互換子系統允許在單個緊湊單元中輕松切換擴散和蝕刻過程。Centronic E1200 HT 260-1是滿足最嚴格的半導體器件要求的理想擴散爐。E1200 HT 260-1結合了先進的控制器、可靠的腔室設計和先進的工藝特點,提供了高效的熱工藝套件,以滿足最嚴格的應用要求。