二手 CENTROTHERM Centronic E1200 HT260-3 #65626 待售
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單擊可縮放
ID: 65626
晶圓大小: 6"
優質的: 2001
LPCVD diffusion furnace, 6”
3-Stack
Set up for: nitride, low-temperature oxide, and insitu low-temperature poly
Toxic gas exhaust
Control cabinet
Gas cabinet
(2) Quartz tubes
Spare parts
CE Marked
3rd position configured with heaters, no tubes
Internal diameter of the quartz tube: ~245mm (9-5/8")
Software:
IBM OS/2 warp V4 OEM preload
IBM Assy for PC ASS UK media pack WAR 0400 P/N: 65H1169A
Spare parts included in several boxes:
Flanges
Fittings
Parts for assembly of the system
Additional items available :
Ammonia purifier system (this may be part of the furnace system as the drawing does show a scavenger)
(2) Edwards Q61-51-006 dry pumps
Used Air products gas guard cabinets for:
Dichlorosilane (2 bottles + N2)
Silane (2 bottles + N2)
Ammonia (2 bottles + N2)
5% Phosphine & Nitrogen (2 bottles + N2).
No loading system
No Computer
No vacuum pumps
48 kW, 0 A, 50 Hz
Crated
2001 vintage.
CENTROTHERM Centronic E1200 HT260-3是一個擴散爐及其附件，旨在提供無縫、高效和可靠的操作。該爐采用高品位材料制成的鉬熱元件，性能最高。這樣可確保任何給定基板的使用壽命長,且溫度一致且均勻。Centronic E1200可確保快速高效的冷卻速率,降低能耗並提高任何紅外工藝的效率。它僅用30分鐘就能達到1350°C的最高加熱溫度，最大坡道速率為每分鐘8°C，確保溫度快速精確地升高或降低。Centronic E1200 HT260-3占地面積小,空間效率高,幾乎適合任何環境。該爐設有惰性熱區，適合處理有害氣體和介質。它支撐著兩件式真空密封門，並具有出色的過濾系統，可以清除所有顆粒和汙染物，以確保每次都有高質量和清潔的基板。Centronic還配備了一個集成的點對點控制器,該控制器用戶友好,可以手動控制,通過板載觸摸屏界面輕松操作和編程。它允許用戶設置不同的目標溫度、時間,並可用於跟蹤進程,以確保一致的復制。該爐還有一個靈活的移植系統，使其能夠連接到多個設備和附件，如不同的冷卻和排氣系統，從而確保安全和適當地處置過程中排出的煙霧。它還與各種電源協調，並具有減少不必要的能源消耗的能力。CENTROTHERM Centronic E1200 HT260-3具有堅固的結構、優異的性能和精確度,是散布各種基板的理想選擇,可確保高品質材料和卓越的可重復性。它具有良好的溫度控制和速度能力，非常適合實驗室測試、加工和生產。
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