二手 CENTROTHERM E 240 #163732 待售

CENTROTHERM E 240是為半導體制造而設計的擴散爐。它將熱氧化、氣相表面活化和半導體層的相互擴散結合成一個循環。用戶友好和模塊化的設計允許較短的周期時間和極端的過程控制。該爐由一個密封的石英封閉熱區組成，最高工作溫度為1250 °C。它配備了一些先進的過程控制儀器和自動化的裝卸系統。除主爐外，E 240還包括一些專門的工具和配件，用於基板表面活化、氣體分布和溫度控制。其中包括高速氣體輸送泵、高精度氣體計量、多氣體分配歧管和先進的氣流控制器。該爐還配備了多項安全功能，包括過溫警報、緊急停止功能和自動關機功能，以在極端溫度變化的情況下保護熱區。自動裝卸系統可以設置為連續運行或在用戶定義的參數下運行。快速循環時間和溫度均勻性保證了近乎完美的運行和效果。CENTROTHERM E 240也非常適合大批量生產和產品開發。過程自動化程度的提高、內部體積的增加和高效的氣體供應保證了產品的高吞吐量和產量。自動化的加載和卸載系統,以及可配置的過程監視,使用戶能夠以最小的停機時間維持可預測的生產計劃。綜上所述，E 240為用戶提供了最大的可靠性和控制力，允許高性能生產。它采用模塊化設計，可根據個別工藝要求量身定制，為用戶提供成本效益高的擴散爐解決方案。許多世界領先的技術公司信任CENTROTHERM E 240的關鍵擴散過程。