二手 CENTROTHERM E 240 #293622222 待售

CENTROTHERM E 240是專門為中型半導體制造應用而設計的擴散爐及附件封裝。它提供快速、經濟高效的晶圓加工，具有出色的均勻性和顆粒控制。E 240由安裝在剛性不銹鋼底座上的溫度控制、垂直方向的水平爐室組成。這個房間有隔熱的合金墻和門.環狀SiC加熱元件壓鑄到側壁，而耐火基線確保高熱均勻性。整個腔室是真空密封的，保證了無顆粒的環境。爐門通過電子方式與控制設備相連，確保操作過程中的最大安全，並提供廣泛的控制功能。該系統還具有電子自我保護裝置，以防止熱失控、過程超調和超速。腔室壁的低熱質量允許快速、高效的坡道速率,使某些應用程序的過程時間減少到3分鐘。精確的溫度控制可實現均勻和可重復的處理,在晶圓級別具有+/-1degC的溫度均勻性。一個新的高效凈化裝置提供快速的熱循環時間和均勻的低氧水平。購買CENTROTHERM E 240的過程時間非常短,擁有成本也很低。E 240的高級控制機器提供了一系列復雜的控制模式，包括多個程序步驟、單和組運行、區域化加熱和冷卻以及用戶定義的每個步驟的停留時間。清晰、直觀的用戶界面進一步簡化了操作,並為您提供了一種安心的感覺,讓您知道該工具正按照它所說的操作。此外,CENTROTHERM E 240還配備了一系列的附件,如可編程晶片支架、石英船和晶片板、溫度傳感器、壓力抽頭和排氣閥。所有這些組件保證並保持最高水平的整體性能。E 240是中型和高容量半導體制造工藝的理想選擇。它提供了快速的循環時間，卓越的溫度控制和出色的顆粒控制，所有的操作容易和低的擁有成本，使所有權在任何生產環境中有吸引力。