二手 CENTROTHERM E1550 HT 320-4 #9131102 待售
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ID: 9131102
優質的: 2001
Furnace
(4) Stacks
Tube 2: LP-CVD Silicon nitride
Tube 3: POCL3 N Doping
Tube 4: Anneal with steam generator
Tube 1: Not configured
Spare parts:
Heating cassette
(2) Toxic gas cabinets
EBARA AAS 100 WN Dry pump
CENTROTHERM Scrubber unit
Heating element
VAT Controller PL3
Sublimation trap
Nitride manifold
EBARA Pump
Nitride pipework
Main vacuum valve
SCHUMACHER Bubbler
VAT Butterfly valve
VAT Butterfly valve control
(2) Process tube doors
Quartzware
Process tubes
Doors
CENTROTHERM Host controller
Tube main screen
(3) MFC
Water flow meter
Digital 380 UTS8 temperature controller / Monitor
5 V / 24 V PSU
Berghof automation paddle controller
Pneumatic door piston
Various valves
Relays
Bearings
Manuals
2001 vintage.
CENTROTHERM E1550 HT 320-4是CENTROTHERM的高溫擴散爐及附件。這種功能強大的設備旨在在各種半導體應用中提供卓越的擴散均勻性和過程可重復性。E1550 HT 320-4采用先進的獲得專利的大氣和溫度控制技術，在擴散過程中均勻地在整個室內散熱。它具有高達1950 °C的寬溫度範圍，以及一個大的4英寸熱區，允許工件快速高效的熱處理。此外，CENTROTHERM E1550 HT 320-4還有一系列附件提供額外的便利。其中包括隔熱板、觀察窗和符合人體工程學的臺式爐座。隔熱罩的設計目的是保護細膩的組件免受熱沖擊,而窗口允許對過程進行目視檢查。爐座設計為符合人體工程學的支持爐座，允許穩定、安全運行。E1550 HT 320-4是一種適用於各種高溫擴散應用的最先進的擴散爐。它具有4英寸大的熱區、高達1950°C的寬溫度範圍以及先進的工藝均勻性和可重復性。此外，它還配備了一系列配件，在操作過程中提供了更好的便利和保護。憑借其先進的技術、可靠的性能和堅固的設計,CENTROTHERM E1550 HT320-4是任何擴散過程的最佳選擇。
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