二手 CENTROTHERM E2000 HT 320-4 #293774189 待售
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ID: 293774189
晶圓大小: 6"
優質的: 2007
PECVD Systems, 6"
Furnace tubes:
ALOx and PEALD
A-Si PECVD
LPCVD
Thermal and wet oxidation
PECVD Gases: SiH4, NH3, N2, H2, N2O, TMA, O2, PH3/B2H6, Doping gas
A-Si Gases: N2, Ar, SiH4, PH3/B2H6, N2O, O2
LPCVD Gases: N2, SiH4, PH3, B2H6
2007 vintage.
CENTROTHERM E2000 HT 320-4是一種高溫擴散爐,設計用於半導體制造和其他需要精密熱處理工藝的行業中的熱處理的精確控制。這種先進的爐型提供了廣泛的特點和能力,以滿足現代高科技應用的苛刻要求。E2000 HT 320-4的核心是其高溫能力,最高工作溫度為1300 °C。這允許各種材料的精確退火、氧化和擴散,確保半導體器件和其他電子元件的最佳性能和可靠性。爐子配有堅固耐用的加熱設備,在整個工藝室內提供快速加熱和優異的溫度均勻性,最大限度地減少溫度梯度並確保一致的結果。CENTROTHERM E2000 HT 320-4具有垂直爐配置,允許高效的晶圓處理和整個工藝室均勻的氣流。這種設計允許對直徑達300 mm的晶片進行高通量處理,使其適合需要大批量的生產規模操作。該爐還配備了先進的氣體輸送和控制系統,確保對工藝氣體進行精確管理,以取得優化的工藝結果。E2000 HT 320-4的關鍵優勢之一是其先進的過程控制能力。該爐配備了最先進的控制系統,允許編程具有精確溫度斜坡、浸泡和冷卻剖面的復雜熱配方。此控制級別使用戶能夠根據特定要求定制熱處理條件,從而提高設備性能和產量。CENTROTHERM E2000 HT 320-4除了具有先進的過程控制功能外,還配備了一系列安全和維護功能,以確保可靠且無故障的運行。該爐設計有多個安全聯鎖、過溫保護和緊急關機系統,以減輕風險和防止熱失控事件。該單元還包括集成的診斷和報告功能,可輕松監控機器性能並排除可能出現的任何問題。為了補充E2000 HT 320-4擴散爐,提供了一系列附件和選項,以進一步提高其能力。這些包括晶圓處理系統、氣體凈化單元、先進的過程監控工具以及用於無縫控制和數據管理的軟件集成。CENTROTHERM E2000 HT 320-4的靈活性和可擴展性使其成為從研發到大批量生產等多種熱處理應用的通用解決方案。總體而言,E2000 HT 320-4擴散爐是半導體行業及其他行業要求苛刻的熱處理工藝的尖端解決方案。憑借其高溫性能、先進的工藝控制特性和堅固的設計,該爐提供了卓越的性能、可靠性和靈活性,可實現精確且可重復的熱處理結果。
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