二手 CENTROTHERM E2000 HT 410-4 #9250379 待售

CENTROTHERM E2000 HT 410-4是晶圓制造中用於真空熱處理的最先進的擴散爐及配件。該爐設計用於真空環境，有一個真空室和一個能夠產生和維持低大氣壓力的真空設備。CENTROTHERM E2000HT 410-4使用耐火預熱區和石墨加熱元件,可快速準確地控制晶圓溫度。擴散帶由提供分布式氣體流動的垂直石英管組成，以確保均勻和最佳的溫度分布。E2000-HT 410-4配備了一個精密的高壓控制器,可保持加工室內的最佳真空壓力。它還具有動態壓力監測系統，連續記錄精確的性能數據，以解決問題和優化性能。CENTROTHERM E2000-HT 410-4能夠一次處理多達四個晶片，並且設計用於超高精度和低溫操作。它能夠提供25°C至1600°C的溫度，並且能夠比傳統的耐火材料設計更快地提供高達720°C的精確控制溫度。這款柔性爐還配有種類繁多的配件，以支持其多種應用。其中包括真空/氣體混合裝置、回填不銹鋼波紋管、多區溫度控制器、He-N2氣流控制、先進絕緣機和多區溫度監測工具。此外，該爐還配有石墨敏感器、基板支架和惰性氣體輸送資產，可在整個階段均勻分配氣體。E 2000 HT 410-4是一種可靠的高性能擴散爐及其附件,在晶圓制造中真空熱處理方面提供了令人難以置信的精度和控制。它是實現超高精度的絕佳工具,可以處理各種過程和溫度,確保用戶充分利用熱處理。