二手 CENTROTHERM E2000 HT 410-4 #9266276 待售
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ID: 9266276
優質的: 2011
PECVD System
Includes:
J&R Loader / Unloader
(4) Pumps and scrubbers
2011 vintage.
CENTROTHERM E2000 AP HT 410-4是專門為研究和工業級應用設計的擴散爐及配件。其四面設計結合了配電均勻的電加熱元件,確保晶圓級加工的溫度控制高度精確。CENTROTHERM E2000 HT 410-4提供高溫性能和快速加熱/冷卻速率,能耗低。它具有四個獨立控制的供暖區,以實現靈活性和高吞吐量。CENTROTHERM E2000HT 410-4采用直觀的觸摸面板顯示屏,帶有圖形生成的菜單,便於配置和操作。防爆鋁室提供安全可靠的工藝環境,維護少。其堅固的設計特點是具有低熱質量的石英爐熱區,保證了整個爐室的均勻加熱,同時避免了熱點的堆積。該機組還配備了安全功能,包括在燃燒室關閉時加熱器點火時自動關閉。E2000-HT 410-4用途廣泛,易於與其他自動化或控制系統集成,允許定制配置。它由集成溫度控制器、快速加熱/冷卻系統、集成提升機構和可移動冷卻機架組成。方便的設計使工藝工程師能夠開發復雜的工藝,而無需外部加熱/冷卻系統。E2000 HT 410-4是一種可靠、輕質的擴散爐,非常適合晶圓級生產。E2000HT 410-4具有抗沖擊性和抗振性,旨在為各種材料分散提供精確的處理。借助軟件控制的氮氣凈化,E 2000 HT 410-4可以提供無氧大氣進行功能研究。CENTROTHERM E2000-HT 410-4的堅固結構確保了高質量的結果、延長的耐用性和低功耗。此外,它的適應性允許為許多不同的工藝和工業應用程序提供廣泛的設置和材料配置。
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