二手 CENTROTHERM VLO 180-H2 #9255736 待售

CENTROTHERM VLO 180-H2是CENTROTHERM VLO系列產品的擴散爐及附件。該產品專為電子應用而設計,在加熱和冷卻周期的所有級別上提供高精度的溫度控制。VLO 180-H2針對常用於微電子和光電工業的金屬有機氣相外延生長過程進行了優化。CENTROTHERM VLO 180-H2采用模塊化結構設計,由一個底板長度為1800 mm的熱壁爐和一個DM-210主控制器組成,可獨立操作,最多可附加三個模塊。它提供了從300°C到1300°C的各種工藝溫度,並能夠監控多個熱區,使其適合各種應用和工藝。加長的熱墻長度，加上自運底座和氣體分配室，使其可靠高效。VLO 180-H2配備了CVD性能套件,包括多區傳感器電阻器、帶有不銹鋼流量計的前後凈化和頂部/底部氣體閥,以及優化的熱輪廓以減少應力。先進的熱剖面由四個預定義的超高質量外延膜溫度級組成。它還采用了八區加熱器，25瓦/厘米²耗散功率和雙洗滌器組合。設計包括一個用於日常維護的自上而下的磁化器升降系統，以及一個可變/可調的磁化器直徑，以實現最佳的均勻性。CENTROTHERM VLO 180-H2具有高度精確的溫度控制系統,其設計具有可靠的工藝參數集成,具有更高的溫度均勻性的石墨敏感器,以及用於更好地控制熱循環的電氣測量。VLO 180-H2的緊湊性和靈活性使其適用於電子行業的廣泛應用,其特點包括用於在線過程診斷的遠程監控系統,以及允許簡化過程和高質量結果的自動接口。