二手 CETC SYQ-150TS #9076766 待售

CETC SYQ-150TS是為半導體行業內的高溫作業而設計的擴散爐及配套配件。本產品的特點包括高溫耐久性、溫度均勻性和一致的結果。爐孔由石墨制成，石墨是一種豐富的碳基材料，可抵抗高至2,800˚C的高溫，具有惰性和無腐蝕性。此外，石墨孔也比金屬更耐熱沖擊。鉆孔也經過精確加工，以確保微米精度。擴散爐采用空氣冷卻和強制空氣對流風扇，以確保冷卻性能保持最佳狀態以達到最佳性能。空氣冷卻系統保持±2˚C的溫度均勻性。烤箱加工區溫度均勻，可加熱至2,200˚C。它的溫度上升速度是20˚C-40˚C/min，它有一個數字顯示，顯示一個實時讀出的溫度。前面板還有一個控制器,用戶可以輕松地為該過程設置適當的溫度。加熱機構使用四區加熱元件，使用戶可以分別控制每個加熱區，從而優化溫度剖面。四區加熱可確保整個加工區保持溫度均勻性。它還有助於使基質保持在均勻的溫度，並防止熱點的形成。底部爐膛用於輸送晶片，由防止熱降解的耐熱材料制成。陶瓷水冷底爐設計為防止晶片或封裝材料變色，使使用者能夠進行高溫作業而不會使晶片過熱的風險。此外，SYQ-150TS還配備了一個國際標準合規性壓力調節器，允許用戶在必要時減壓爐子。壓力調節器防止爐子過壓，會導致爐子過熱。除了這些特點外，CETC SYQ-150TS還附有多種配件，如管式爐、石英管、等溫屏蔽等各種工具。SYQ-150TS擴散爐及其附屬配件一起設計，可以精確、均勻地進行各種工藝。