二手 CHIYODA ELECTRONICS ACS-650 #9352553 待售

CHIYODA ELECTRONICATIONS ACS-650擴散爐是一種最先進的工具，旨在提供高度可靠的結果和精確的溫度控制。它經常被用於金屬和/或半導體材料在基板上的沈積，允許進行一系列的半導體研究和工藝開發。該爐具有堅固的設計，可用於薄膜沈積和摻雜等應用的穩定、控制良好的平臺。ACS-650擴散爐裝有一個單一的熔爐，可容納高達600mm的材料，最高工作溫度範圍為1750 °C。該室的內部部件采用高級電爐材料建造，以確保安全有效的環境。它還具有開放式設計,便於訪問和維護。CHIYODA ELECTRONICS ACS-650的高級控制系統提供了許多高級功能,包括溫度配置文件控制器、實時配方、數據記錄和蠕變平衡系統。配置文件控制器允許用戶為優化的應用程序和材料配方創建和存儲自定義的溫度配置文件。實時配方功能使用戶能夠創建、存儲和召回精確的溫度配置文件,以獲得最佳結果。數據記錄系統允許用戶跟蹤和存儲溫度配置文件數據,以便以後進行比較和分析。蠕變平衡系統可確保在循環操作期間溫度保持在範圍內,從而提高精度。ACS-650還配備了一系列配件，以進一步提高其性能。爐蓋包括帶光源的位置窗和便於過程監控的攝像頭。家具套件由坩堝蓋、crucible lift、crucible tripods、水平擋板盤組成。Crucible cover可用於保護免受汙染,而crucible lift允許方便地接觸到crucible。水平擋板盤有助於保持材料在一個部分的腔室更大的控制和精度。此外，CHIYODA ELECTRONICS ACS-650包括一個用於精確控制過程中氣體流動的高精度氣體流量計，以及一個帶有泄漏檢測和安全裝置的符合CEA標準的特殊氣體系統。集成的安全系統允許在電力或N2流量損失時自動關閉。ACS-650擴散爐是半導體研究和工藝的絕佳工具。CHIYODA ELECTRONICS的強大設計、先進的控制系統和各種配件使ACS-650成為一種高度可靠、用戶友好的解決方案。