二手 DEGUSSA VKSQ 80-80-120 #9003361 待售

ID: 9003361
Vacuum furnace Operation temp: 150° C Watercooled: 100° C Capacitance (internal): 11750 L Capacitance (doble coat): 540 L Operating pressure (internal): -1 / +10 bar Operating pressure (doble coat): +1.5 bar Pump 1: VAROVAC S400F Pump 2: RUVAC RA3001 1991 vintage.
DEGUSSA VKSQ 80-80-120是一種高度通用的三區擴散爐及附件設備。它提供了對制造創新材料所需的工藝參數的精確控制,如III-V單晶和金屬化陶瓷。該爐的工作原理是將諸如矽源材料等反應物引入加熱區,然後在由第二層和在某些情況下由第三層擴散區控制的大氣中進行處理,以產生更復雜的化合物。這種設計嚴密、經濟高效的設備有助於消除大量能源和昂貴真空工藝的使用,並提供業界最高的產量。其基本部分由爐體、鎢層堤、空氣熱交換器、煙氣出口等組成。鎢層庫是熱能來源,在空氣熱交換器預熱進入的氧氣、氮氣或氙氣被推入材料室之前,將材料室高溫烘烤。煙氣出口再利用一系列二次燃燒器和其他控制材料,從腔室排出熱能。VKSQ的其他部件包括主加熱室、絕緣襯裏、溫度測量系統和自動溫度控制單元。主室具有大體積和多個加熱區,促進增強擴散。矽源通過耐高溫閥安全地引入腔室。絕緣襯裏提供隔熱室的保護層,溫度測量機裝有實時跟蹤溫度的高靈敏度溫度傳感器。最後,先進的溫度控制工具會根據用戶的預設規格自動調節溫度。DEGUSSA VKSQ的設計目的是提供出色的結果,具有溫度穩定性和工藝靈活性,有助於節省大量成本和減少材料浪費。它是一種高度可靠和耐用的設備,設計為長期耐高溫供熱。
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