二手 DIFF IFB-ZCL03A #9292370 待售
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DIFF IFB-ZCL03A是專為半導體晶片的高精度擴散退火而設計的精密電爐。爐子采用獨特的線圈設計,精心設計的線段達到最高有效溫度均勻性。線圈被封閉在一個密封的不銹鋼室內,內襯陶瓷絕緣材料,並配有電子空氣閥來控制腔內惰性氣氛的流動。通過完全除氣在整個過程中保持超高純度氣氛。這保證了穩定和清潔的擴散氣氛,這對於擴散過程中的高質量結果至關重要。該爐保持穩定和受控的溫度速率,以獲得最佳退火效果.溫度維持在+-2 °C以內,可設定低至10°C至1250°C的上限,精確度為+-1 °C。區域溫度由PID控制保持,設備配備安全系統,具有緊急停止和溫度對稱傳感器。它的溫度曲線是用戶可編程的,其加熱速率可以達到2800 °C/min,這取決於爐子模型。IFB-ZCL03A具有+/-3 Pa的真空水平和+/-1 Pa的高真空,具有優異的冷卻能力。它配備了氣體擴散系統,具有渦輪分子泵和差壓控制系統。它也可以連接到外部供氣線路。爐體內徑為138mm,最大烘烤長度為100 mm,殘余真空為2.5 × 10-3 Pa,爐體堅固耐用,具有良好的防腐蝕性能和可靠性。它配有經認證可用於絕緣的保護性塗層和材料,以及高達1,000 ppm(百萬分之一百萬)的ROHS合規性。即使在高溫下,這也能確保最大程度的安全以及穩定的熱環境。它還設計用於一系列環境,如潔凈室和實驗室設置,並可與標準防護設備一起使用。DIFF IFB-ZCL03A是半導體晶片擴散退火的絕佳選擇。其強大的設計、精確的溫度控制和出色的真空能力使其成為商業和研究應用的理想選擇。這種高能效、可靠的熔爐可以為用戶提供優異的效果,確保最高產量和可重復性。
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