二手 DIRE 10 #9119220 待售
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ID: 9119220
晶圓大小: 5"-8”
優質的: 1992
Furnace, 5"-8”
(2) Tubes of LPCVD (Flat Poly & BPSG)
(2) Tubes of Wet Ox
7680 Loaders
Direction Saddles and Door Closures
Breakers in Offset Shroud
ASEA Breakers
2962044 cores, 1150C max on tubes 1 & 2 (Wet Ox)
2962079 cores, 1000C max on tubes 3 & 4 (Poly & PSG)
Transformers ok for 8” and/or high temp
Setup for 5” wafers. Can be upgraded to 8”
7630 Temp Controllers
Internal Torch (Tube 1)
Old style 7618 External Torch (Tube 2)•
(2) Schumacher ATCS15 Bubbler controllers for TCA
Unit 1100 and 2020 MFCs
Internal UPS
Individual Input and Output modules
Bulkhead cabling
55x22 Software
(2) 7900 Atmospheric Gas Modules (tubes 1 & 2)
(2) 8100 LPCVD Gas Modules (tubes 3 & 4)
Pumps, fore lines, vacuum components for the two LPCVD tubes are not included
1992 vintage.
DIRE 10是一種擴散爐及其附屬配件，用於生產矽（Si）和摻雜多晶矽（DPSC）。熔爐及其配件是開發高性能半導體的寶貴工具。10個爐可以在高達1150°C的溫度下工作，並且能夠進行長達30小時的運行。配備先進的自動控制設備，利用無縫加熱和冷卻系統，確保精度和效率。該系統允許嚴密的溫度控制和可靠的結果。該爐還配備了自動石英和氧化鋁的坩堝系統，以確保均勻加熱和均勻摻雜。這個單元允許氮、磷和硼前體的出色的鉛摻雜，也可以使用的是氙摻雜。Crucible由大功率燈供電，最多可產生7.5kW/cm2高效分配的功率。熔爐的附件包括石英和氧化鋁消耗品以及為優化性能和安全性而設計的輔助部件。石英和氧化鋁消耗品的設計旨在防止爐子受到汙染，並確保氣體和試劑不被混合。輔助部件可以有效地填充和排出爐子，並能精確地控制生皮溫度。DIRE 10還包括一個氣體和試劑輸送機，其設計提供準確的流量控制和一致的結果。該工具完全自動化，使用先進的傳感器和控制器，以確保精確的操作和可靠的結果。10旨在為用戶提供可靠和高效的擴散過程,從而實現高產和一貫優良的材料質量。憑借其高精度的溫度控制、高效的石英和氧化鋁消耗品以及自動化的氣體和試劑輸送資產，DIRE 10確保了一致的高性能結果。
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