二手 DSI SD-200 #156913 待售

DSI SD-200爐是一種先進的擴散設備，其設計目的是在制造過程中向矽片提供快速、高頻的氣體擴散，如氮氣、氙氣和氫氣。該系統采用創新的四區區域爐設計，實現了整個爐的溫度控制和均勻性非常精確。這有助於確保氣體以一致的方式向晶圓中擴散。該裝置還提供了一種獨特的冷卻機，有助於保持整個刀具的溫度隨時間的穩定和均勻，從而進一步提高擴散過程的質量和效率。SD-200擴散爐由三區感應加熱模塊、驅動發電機或晶閘管控制的固態開關LC過濾負載的固態電源、控制模塊和軟件控制面板組成。三區加熱模組包含三個獨特的加熱區，分別設有溫度感應器。利用這一資產，可以精確控制每個區域的溫度，使熱量和氣體擴散均勻地應用到目標材料中。這允許有效和一致的材料擴散。該型號提供的固態電源可提供可重復、可靠的性能,並且能夠為發電機和晶閘管控制的固態開關LC過濾負載提供所需的控制功率。通過將該裝置與三區感應加熱模塊和軟件控制面板相結合，DSI SD-200擴散設備能夠提供準確和可重復的擴散結果。最後,系統還配有一系列附件和組件。其中包括電源補償器、溫度控制器、閥門模塊、過濾器、傳感器和惰性填充管。所有這些成分都可以用來進一步提高擴散過程的準確性、重復性和有效性。SD-200擴散爐旨在為半導體制造商提供高效可靠的擴散解決方案。通過結合先進組件和受控加熱模塊，該單元能夠提供可重復和一致的結果。通過采用創新的設計和隨附的配件，DSI SD-200擴散爐為半導體制造商提供了一個方便可靠的工具。