二手 EUGENE BJM3000 #293587383 待售

EUGENE BJM3000
ID: 293587383
晶圓大小: 12"
CVD Furnaces, 12".
EUGENE BJM3000是一種擴散爐及附件,由EUGENE Instruments Company設計生產。它是一種高效的多功能爐,非常適合半導體材料的退火和摻雜。BJM3000使用加熱的真空室,結合強大的氣流循環系統,為沈積過程創造一個統一的熱環境。EUGENE BJM3000設計方便操作和維護,是任何實驗室或生產環境的理想選擇。它具有先進但用戶友好的計算機控制系統,可精確控制所有過程的溫度、流量和時間。這使得擴散過程中的精度、準確性和控制水平大大提高。BJM3000的設計包括一個單獨的高真空室,連接到一個主工藝室。在工藝室內,用戶可以從各種加熱元件中選擇:兩個獨立的電阻元件、兩個單區微波源和四個感應線圈源。所有這些元素都可以同時活動和調整以提供所需的溫度和流量控制。主加工室還設有多種工具,包括幾個自動進紙器、一個石墨敏感器和一個晶圓裝載器。EUGENE BJM3000還具有多項安全功能,如緊急關閉系統、區域隔離監視器和氣壓傳感器。這些安全功能使用戶能夠安全地執行高溫擴散過程。BJM3000配有一整套配件,包括一個強大的真空系統,一對熱過濾器,和一個選擇的背襯泵。還包括了種類繁多的油管、水泵和其他部件。該產品還提供全面的文檔和技術支持。EUGENE BJM3000是尋找高性能、易於使用的擴散爐和附件的實驗室和生產設施的理想選擇。其多功能設計和先進的安全特性使其成為任何擴散過程應用的絕佳選擇。
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