二手 EUGENE BJM3000 #9311273 待售

EUGENE BJM3000是一種擴散爐及輔助設備，用於半導體器件生產等工業中使用的各種材料的擴散。該系統主要由主爐、擴散室和輔助附件單元三部分組成。BJM3000的主爐具有較大的熱質量，能夠提供0至1650°C的溫度範圍。它具有雙碳化矽（SiC）加熱元件，具有獨立的功率調節器，提供精確的熱控制。主爐還配備了兩個真空泵，一個惰性氣體進氣口和一個排氣口，用於改進工藝大氣維護。擴散室能夠在480°C至1050 °C的溫度下進行擴散過程。該室裝有一塊多區石英爐床板，用作加工材料的來源。石英爐床板的設計允許擴散氣體與工藝晶片均勻相互作用。EUGENE BJM3000中的輔助附件單元包括一個用於氣體分配和噴射的單元氣箱、一個蒸汽噴射歧管以及一個用於加工室內和從刀具排出的氣體的氣體清洗機。它還具有一個帶有圖形用戶界面的遠程監控控制臺，允許在必要時進行動態反應調整。BJM3000提供了一系列優化的解決方案，從超低溫爐到高溫擴散。其高效的熱管理為高端半導體器件生產提供了高性能、可靠、經濟實惠的擴散解決方案。