二手 FIRSTNANO EasyTube 3000 #293668360 待售

ID: 293668360
Thermal furnace Substrate sizes: 100 mm x 100 mm UHP Gas lines: Up to 12 Mass Flow Control (MFC) Automatic substrate loading/unloading system CASCADE Process temperature control Resistance furnace: 3 Zones Temperature range: 1200 °C High throughput with fastcool furnace.
FIRSTNANO EasyTube 3000是一種擴散爐及配件工具,為晶體生長提供了革命性而高效的方法。該系統非常適合晶體生長、退火和處理應用。EasyTube 3000能夠以快速的加熱速率提供高達1650°C的精確溫度,有助於最大限度地提高工藝效率。這要歸功於嵌入的單線鉬-Rhenium (Mo-Re)加熱元件和陶瓷纖維絕緣。這些組件具有極好的熱穩定性,並確保對各種基板(包括矽和藍寶石)的工藝參數進行適當的優化。FIRSTNANO EasyTube 3000還具有石墨管,可實現更好的熱均勻性和精確的溫度控制。這樣可以實現更高的準確性,從而實現更緊密的流程窗口和更高的質量。此外,高效冷卻周期可最大程度地減少熱應力,防止設備退化。EasyTube 3000包括一套智能配件,包括用於控制大氣的集成真空系統、用於數據采集的數字傳感器以及用於自動化操作的實時控制軟件。這些附件簡化了數據采集和分析,從而可以對工藝參數進行深入表征。FIRSTNANO EasyTube 3000非常適合廣泛的應用,包括通過蒸發、濺射和CVD工藝進行薄膜沈積。石墨管設計和低熱質量有助於最大限度地減少寄生損失,改善熱保護,最大限度地提高產量。此外,EasyTube 3000還具有堅固的結構和耐用的材料和組件,可確保可靠的操作和使用壽命。這樣可以減少停機時間,並提供經濟高效的解決方案,實現可靠的晶體增長和設備處理。總體而言,FIRSTNANO EasyTube 3000是用於晶體生長、退火和處理應用的高效可靠的解決方案。通過利用石墨管設計、高效冷卻、智能附件和堅固結構等關鍵功能,此系統能夠提供精確度、吞吐量和產量,從而實現卓越的性能。
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