二手 FUJIFILM TC 2000 #9399084 待售

FUJIFILM TC 2000是一種擴散爐及相關配件，主要用於半導體制造作業。其目的是確保極薄的金屬層成功沈積到矽片上。TC 2000的特點是一個主腔室有四個不銹鋼結構區域，一個二次腔室有兩個獨立的區域。主室內部是隔熱、自密封的隔熱屏障和氣流排氣系統。四區可獨立控制，用於進行各類工藝步驟，如氧化、氮化和深層擴散。FUJIFILM TC 2000利用一系列電阻加熱元件，產生轉化為熱能的直接電能。這被轉移到隔熱層，從而確保均勻和均勻的熱分布。使用可調溫度控制器控制單個加熱元件的溫度,以確保過程一致。先進的基於PLC的閉環控制系統管理TC 2000的編程和操作。這包括PID控制的工藝室溫度、門操作和報警管理功能。用戶友好的觸摸屏界面使FUJIFILM TC 2000編程變得快捷易用。TC 2000適用於各種應用方案，如薄膜生長、活化回流、摻雜擴散和預熱處理。它還被設計為與各種兼容配件如保溫罩、連續軸和可移動真空端口一起使用，允許在多種設置中使用。在其標準配置中，富士FUJIFILM TC 2000附有三菱控制器、擴散升降機和網狀加熱元件，便於精確的層厚控制。它還包括多種安全特性，如蒸發氣體的通風口、安全聯鎖和溫度測量用的高溫計。總體而言，TC 2000是一種可靠而強大的擴散爐，其設計符合最高制造要求。FUJIFILM TC 2000利用其先進的控制和加熱元件,能夠以高精度和重復性一致的方式提供薄而復雜的金屬層。