二手 GASONICS / NOVELLUS HIPOX 6000 #293758592 待售

GASONICS/NOVELLUS HIPOX 6000是為高速率氧化擴散而設計的擴散爐及配件。該設備采用了獲得專利的高密度多陽極設計，產生了可擴展、精確、均勻的基板加熱系統。GASONICS HIPOX 6000通過模塊化和可擴展的設置提供精確的工藝溫度控制。這種先進的設備專為高吞吐量和低擁有成本而設計,使其成為制造操作的一個有吸引力的選項。NOVELLUS HIPOX 6000船帶有四分之一英寸厚的熱板，最多可容納三個工藝節點，溫度範圍從6,000°F。利用高達6千瓦的功率輸入，HIPOX 6000一次最多可支持四個氧化模塊。此外，這臺先進的機器設計用於處理從先進的化學氣相沈積（CVD）和化學機械平面化（CMP）工藝到復雜的透矽通過（TSV）和相關工藝的各種應用。先進的熱控制非常適合各種晶圓尺寸和形狀,使GASONICS/NOVELLUS HIPOX 6000成為需要快速熱加熱的工業應用的絕佳選擇。它還以± 0.25°C的分辨率提供令人印象深刻的溫度精度和可重復性,而它的自動熱均勻性軟件保證了整個基板的溫度水平。此外,GASONICS HIPOX 6000通過用戶友好的Windows界面提供流程控制,該界面允許修改流程參數或配置特定的運行參數。此外,NOVELLUS HIPOX 6000還包括晶圓旋轉等安全功能,以實現更好的熱分布、計算機控制的過程限制器和安全聯鎖,從而最大限度地提高工具的可靠性。HIPOX 6000也是為快速幹燥而設計，並配備了雙通道高真空擴散泵。除了易於設置和操作外,GASONICS/NOVELLUS HIPOX 6000還允許根據特定要求進行自定義配置。總之，GASONICS HIPOX 6000是一種先進的擴散爐及其附件，具有專利的高密度多陽極設計、精確的溫度控制和一系列的安全特性，使其成為各種工業應用的誘人選擇。此資產旨在處理復雜的流程,並可根據特定要求輕松擴展。