二手 GASONICS / NOVELLUS HIPOX #293770796 待售

GASONICS/NOVELLUS HIPOX是一種專為滿足半導體器件制造需要而設計的高度先進的擴散爐。這種設備通過化學或物理氣相沈積（CVD/PVD）工藝將固體材料如矽蒸發到表面上。蒸發過程，或稱「擴散」，是在含有惰性氣體的真空室中進行的。要塗覆的基板表面保持在受控溫度，同時將蒸發的材料驅動到基板上。該系統建立在一個閉環熱框架設計，其中工藝室安裝在框架和加熱兩個內部加熱元件。加熱是通過一種惰性氣體混合物控制的，這種混合物被引入室內，蒸氣通過部分真空排氣裝置排出。汽化材料通過熱氣動態機器驅動通過腔室，從而確保材料在表面上的均勻分布。GASONICS HIPOX工具提供了多種過程可能性，使用戶能夠根據其特定應用準確地定制其過程條件。它具有綜合的過程監測和控制能力，能夠在腔室內安裝探測器，以監測過程的參數，如壓力、溫度和氣體流動。資產由自己獨立控制的三相電源供電。NOVELLUS HIPOX模型的魯棒性設計確保了高工藝產量，並產生了極好的微精度沈積。此外，該設備還提供兩種烤箱加熱功能：短期使用的閃光加熱和長期使用的底部加熱。該系統還設有預熱室，以確保過程溫度始終保持不變。HIPOX擴散爐是一種設計精良、高效的裝置，能夠為高速制造高精度部件提供可重復的動態塗層。它可以容納廣泛的基材尺寸，可以調整以滿足最嚴格的工藝要求。其全面的過程監測和控制能力提高了效率，而框架設計和堅固的結構確保了可靠的性能。這臺機器非常適合要求高精度和可重復性以及高質量表面精加工的應用。