二手 GT SOLAR 1001057 #9236065 待售
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GT SOLAR 1001057是一種擴散爐及附件,用於在連續生產過程中創造精確、可重復的成果。它是一種低溫立式壁爐,設計用於高通式制造。為了產生理想的結果,1001057爐使用不同氣體、溫度和壓力的組合,將固體材料沈積在具有化學需氧量(COD)的半導體晶片上。這些材料用於集成電路和晶體管的制造。GT SOLAR 1001057包括等離子體密度監測儀、用於統一大氣控制的可退火氣體設備(AGS)、兩個和四個站傳感器,以及一個Pro-Run軟件控制器以允許完整的過程控制。該系統具有操作濕法和幹法的能力,並在整個擴散過程中提供晶片的高溫熱剖面。1001057還包括一個爐載鎖室和許多其他配件。鎖載室提供了均勻性和提高的可重復性,而可退火氣體單元(AGS)則用於控制擴散過程的大氣。此外,Pro-Run軟件允許自動監控和實時數據分析。為了保證過程的質量,機器可以采用實時晶圓映射技術來監測擴散過程的精確溫度和摻雜條件。GT SOLAR 1001057提供精確的可重復性和均勻性跨晶圓.它能夠維修多達四個大小各異的晶片。它可以與多種氣體如一氧化二氮、氮氣、氙氣一起操作,使其適合多種氣體和材料化學。此工具還可實現50至1000攝氏度的精確溫度分析,最高坡度速率可達200 °C/分鐘,自動調整和自動縮放功能可實現可重復性。總體而言,1001057資產是一臺卓越的機器,可用於需要高精度和可重復性的連續生產過程。其組分組合確保了統一和可預測的結果。它具有廣泛的特點,是快速高效實現質量擴散效果的理想選擇。
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