二手 GT SOLAR 1001057 #9236068 待售

GT SOLAR 1001057是GT SOLAR系列擴散系統的擴散爐及配件，旨在為各種基材提供最高質量的熱處理。這種可靠、高效、經濟高效的擴散解決方案非常適合各種應用，如制造微電子工業中使用的薄膜器件。1001057配有強大的雙模電源、高溫控制模塊、高效送氣系統。該裝置設有擴散室、渦輪泵設備和集成的可選熱成像套件。它還配備了真空傳感器，以及射頻和光學控制功能。這種擴散系統能夠提供高達1000 °C的溫度過程，具有高度的精確度和可重復性，同時以一致的氣體流量和壓力運行。集成高溫控制模塊設計為提供卓越的過程控制，允許用戶在手動流體動力和流體動力壓力模式之間切換。熱區、高靈敏度溫度傳感器、紅外熱電筒都包含在單元中，可以進行準確的過程監測和控制。這臺機器能夠加工任何類型的晶圓，如多晶矽、砷化​​氙、磷化氙和碳化矽。GT SOLAR 1001057可以加工200毫米（8英寸）大小的基板，高溫極限為1350 °C。該工具具有許多高級功能，包括可編程參數、歷史配方管理和熱成像。射頻加熱設備可最大限度地降低不均勻的風險，綜合汙染控制模型可確保操作的一致性和效率。此外，還包括了Chamber Cleaner功能，以在設備使用期間保持腔室襯裏、蓋子和閘門閥的清潔和無化學反應。這就是說，該系統設計方便操作和維護，使其成為自動化生產線或人工操作的理想選擇。1001057擴散爐及配件是任何生產線可靠高效的選擇。它的多用途操作允許用戶處理廣泛的基板，具有優越的和可重復的過程結果。高溫處理功能、用戶友好的界面和健壯的構造使此單元成為任何應用程序的理想選擇。