二手 GT SOLAR 1001057 #9236070 待售
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GT SOLAR 1001057是用於半導體制造工藝的擴散爐及配件。它是一種高真空擴散爐,能夠在環境溫度下達到1100 °C,並能達到1.3x10-6 Torr的壓力,為半導體晶片的蝕刻、沈積和制造提供最佳環境。該擴散爐由爐、室、配件三部分組成.該爐是該裝置的主體,包括供氣和真空系統,可精確控制擴散爐室內的環境條件。腔室是容納正在加工的晶片的外殼,由加熱元件加熱以達到所需溫度。附件包括用於處理正在處理的晶片的特殊工具,如用於固定晶片的基座、用於固定晶片的升降器或夾具,以及用於將晶片連接到爐子的適配器。擴散爐具有各種防止晶圓和熔爐損壞的安全特性。它有一個石英窗口,允許目視檢查腔內的過程,而不必打開腔室並放出有害物質。它還有一個自動關閉系統,如果溫度和/或壓力水平超過設定的閾值,它將關閉爐子。這種擴散爐的另一個特點是其環保設計。腔室由不銹鋼制成,即使在高溫下也不會降解。這有助於減少爐子產生的排放量,並保持周圍環境的清潔和安全。1001057擴散爐是同類中最好的,提供精確控制的環境溫度和壓力水平,實現半導體晶片的精確生長和蝕刻。其先進的特點和安全協議使其非常適合集成電路生產過程。
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