二手 GT SOLAR 513349 #9236055 待售

GT SOLAR 513349是一款擴散爐及配件，旨在為生產優質可靠的晶矽太陽能晶片提供特點。產品由內室和外室組成，外室由排氣設備、低壓水歧管和可調安全閥組成。它還具有兩個感應線圈，用於將磷、硼和其他材料擴散到矽基板中。擴散爐采用感應加熱系統結合密封室和水冷機組，以提供精確的溫度和大氣控制。感應加熱機能夠為矽擴散提供1670°C（3038 °F）的最高溫度，並由電腦接駁的PLC/控制單元控制，帶有觸摸屏顯示器。該爐在10-2毫巴的真空條件下運行，其特點是由氮氣、氙氣和氧氣與DEOS工具混合而成。這樣可以防止擴散過程中的氧化。爐子配有隔膜泵，將稀有氣體泵出腔室，保持低水平的背景氧氣。利用熱力學模型計算出的矽蒸氣壓力來精確預測擴散過程中的溫度。該產品還具有襯套式氣體進料資產，可在整個擴散室中註入硼、磷和其他材料。使用精確測量系統對材料進行計量。該產品有一艘180毫米直徑的矽酸銨船，由機電定位模型控制。為了安全起見，該產品還包括一個緊急停止設備以及各種防止腔室過壓的安全閥和安全閥。室內外墻體采用高級304不銹鋼制成，五面錐形頂蓋保證了充足的均勻加熱和最大效率。該產品是生產優質可靠矽太陽能晶片的絕佳選擇。將擴散爐的精度和精確度與套管式氣體進料系統相結合，對太陽能晶片生產的溫度和物料輸入量進行了精確控制。該產品符合安全規定，效率高，適合生產種類繁多的太陽能晶片。