二手 GT SOLAR 513349 #9236058 待售
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GT SOLAR 513349是一種擴散爐及相關配件,用於半導體工業中,用於與特定材料的沈積和外延有關的熱過程。適用於半導體制造中發現的高溫擴散應用,如矽片加工、III-V半導體沈積、薄膜光伏器件制造等。這種擴散爐的設計允許高水平的控制和精度,以盡量減少工藝損失和提高產量。它具有多種功能,例如易於維護的石英襯砌腔室、高度先進的溫度控制設備、用於監控給定工藝所有參數的過程跟蹤功能,以及各種附加附件以最大限度地提高生產率。該爐由於具有精確控制溫度的能力,以及通過將其他各種工藝整合到主作業中來優化沈積過程的能力,非常適合與許多材料配合使用。這包括應用氣相摻雜和去除不必要的材料層。該爐的設計也以安全為優先事項,其烘烤防護措施旨在保護工作人員不會過度接觸有毒氣體,此外還有緊急關閉系統,以防止可能造成財產損害的失控過程溫度。513349還可以與種類繁多的診斷系統集成,允許遠程性能管理;這不僅是針對自己的系統,而且還允許集成其他供應商的兼容系統。總體而言,GT SOLAR 513349擴散爐及其相關配件為用戶提供了一個高效可靠的高溫擴散系統,其功能旨在支持和提高該工藝的產量。它具有高度先進的溫度控制、工藝跟蹤功能和安全操作,是半導體應用的理想解決方案。
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