二手 GT SOLAR 513349 #9236074 待售

GT SOLAR 513349是一個擴散爐和相關的附件套件，用於形成半導體膜，鍵合晶片和創建金屬化層。作為GT SOLAR 51334 x擴散系列系列產品中的最新產品,513349提供了一套與其前代產品相比更好的功能。GT SOLAR 513349提供了不少於2,500 mm2的工作區域,最大基板尺寸為125mm,允許運行更大規模的工藝,而無需額外的固定裝置。支持高達1150°C的溫度,513349具有PECVD、PVD、ALD等先進技術。爐子可以與氮氣、氙氣、氫氣、氦氣或其任何組合一起使用。能量/氧化物比率可從500：1到2500：1以5個增量進行調節,以完全控制電池電平調制。可選擇10種不同的功率分布,最多可提供5個外部射頻源。GT SOLAR 513349還具有ISO 5級潔凈室,可確保加工區域不受外部汙染物的汙染。還有一個1 mT的集成二次真空，分辨率為1 x 10-6 mbar，以及從25°C到200°C可調節的底板溫度。在增加的安全性方面，513349配有多個緊急關閉系統，包括通過檢查窗口的停電、爐子中斷、限溫器、熱沖擊防護等。該型號還包括一塊2.5厘米厚的氧化鋁板，便於清洗和維護，以及一個帶有單獨的氣體入口、出口和儲層的氣盒，既用於氮氣也用於氙氣。總體而言,GT SOLAR 513349是一種通用的專用擴散爐和附件封裝,專為跨半導體和金屬化層的工業級工藝而設計。它不僅被證明是可靠和準確的,而且還提供了一系列安全措施,使其成為許多處理專業人員的首選。