二手 HIKE DJ1223V CX3 #9262170 待售

HIKE DJ1223V CX3擴散爐是一種完全集成的垂直擴散爐，專為高性能的過程開發和生產活動而設計。它配備了多種特性，提高了擴散過程的速度和精度。該爐由多層金屬板、兩個獨立的腔室和三個獨立操作的載荷鎖構成，效率最高。爐頂室為驅動室，容納專利的HIKE驅動桿設備。傳動桿系統由四根桿組成，這些桿與爐膛相連，可以完全控制擴散過程中使用的溫度。該傳動單元設計為在操作過程中提供最佳效率,並且易於調節以處理不同的材料和溫度。DJ1223V CX3上的負載鎖通過集成可編程邏輯控制器（PLC）操作。載荷鎖具有三個隔離腔室，可在不汙染加工腔室的情況下從爐子中插入和去除晶片或基板。三個腔室中的每個腔室最多可處理6 「x 6」晶圓，在擴散過程中可單獨編程以進行高精度控制。爐底室是電阻加熱元件的所在地，其保持爐溫均勻，最高溫度為1300 °C。該元件能夠維持15至400°C的工藝溫度,並對所有工藝步驟進行精確的溫度控制。然後，加熱的空氣通過鼓風機在整個爐室中循環，該鼓風機在樣品表面提供均勻的溫度，從而實現精確和可重復的擴散過程。HIKE DJ1223V CX3擴散爐能夠進行各種工藝周期的工藝開發和生產活動。它還具有幾個有助於過程監測的功能，包括用於溫度控制的鉻鋁熱電偶、便於查看載荷鎖的集成石英鹵素室燈和內置晶圓映射功能。所有這些特性使DJ1223V CX3成為一個堅固而強大的擴散爐，可用於各種應用。