二手 HITACHI / KOKUSAI DD-1206V #9377438 待售

HITACHI/KOKUSAI DD-1206V擴散爐及其附件為擴散、預擴散和退火過程提供了一種自動化和高效的解決方案。該爐采用5個熱區和1個分層晶圓加工後裝區的頂裝設計，采用4個加熱盒設備，供熱均勻性顯著。一個5級升降系統允許進入晶片，也用作隔熱罩。HITACHI DD-1206V采用6室設計,可實現快速熱循環和過程穩定性。溫度高達1160°C,快速冷卻速度高達250°C/秒,因此該爐幾乎可以實現任何應用的最佳性能。它還具有PID閉環控制、基於邊緣的溫度控制和精確的熱調節等特點。該爐采用直觀的軟件界面和隨附的HCC2熱板裝置實現全自動。可選的氣體輔助控制器（GAC）是KOKUSAI DD-1206V的寶貴補充,可讓用戶快速輕松地調節氣體流量。DD-1206V還配有一系列配件,可提高便利性和可用性。自動晶片托運人是瑞士式晶片高效裝卸的理想選擇。可配置的手推車機器允許在爐內快速、精確地移動多達10個盒式磁帶。HITACHI/KOKUSAI DD-1206V還允許用戶輕松監控其流程。現場剖析可與可選的集成紅外熱成像和熱壓光學傳感器配合使用，以提高工藝能見度和控制。具有邏輯控制和配方管理功能的高級軟件界面允許用戶通過幾次簡單的單擊來配置、監視和調整其流程。總之，HITACHI DD-1206V擴散爐及其附件為廣泛的應用提供了高效有效的解決方案。通過高級控制、自動化功能和外圍設備附件,熔爐為用戶提供了強大的過程控制、可靠性和經濟性。